半导体洁净车间注意事项

admin 2019-10-30 07:07 阅读



  半导体组件空间单位都是以微米来计算的,所以微尘颗粒附着在制作半导体组件的晶圆上,很有可能(maybe)影响到上面的精密导线布局的样式,造成短路(电流不经用电器、直接连电源两极)或断路情况。因此所有半导体制程设备都必须放置在隔绝粉尘(形态:固体微粒)进入的密闭空间里,这就是半导体洁净车间的来由。
  下面给大家说说出入半导体(semiconductor)洁净车间需要注意的事项:
  1。无尘车间目前级别最高的当属航天航空的航空仓,基本是属于1级,属于特殊领域,面积相对较小。另外对级别要求较高的是生化实验室和高精纳米材料生产车间,物联网芯片的发展将是未来需求的一大方向。洁净车间净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理,均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理,可采用亚高效空气过滤器代高效空气过滤器。半导体(semiconductor)洁净车间内部要确保粉尘(形态:固体微粒)只出不进,因此洁净车间室内要保持大于大气压的环境,这就需要用大型鼓风机(Draught Fan)将经净化设备的空气源源输入洁净车间中。
  2。为保持恒温恒湿,大型空调设备须搭配(collocation)前面的鼓风加压系统使用。鼓风机加压多久,空调就得开多久。
  3。所有经净化设备的空气流动方向均由上往下为主,因此洁净车间室内空间设计或机台摆放应避免突兀(tū wù),使尘埃特殊结构:荚膜、鞭毛、菌毛(fungus)等在洁净车间内回旋停滞的机会与时间减至最低程度。
  4。所有建材均以不易产生静电(是一种处于静止状态的电荷)吸附的材质为主。
  5。所有人或事物进出洁净车间,人必须穿配套防尘服,人或事物都要经过风淋室吹淋以将表面粉尘(形态:固体微粒)先行除掉。
  6。净化车间是指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。半导体(semiconductor)洁净车间内水的使用只限用去离子水。一是防止水中粉粒污染晶圆,二是防止水中重金属离子(metal ion)(heavy metal ion)污染金氧(Oxygen)半晶体管结构的带电载子信道(指通信的通道、是信号传输的媒介),影响半导体组件的工作特性。去离子水是最佳的溶剂与清洁剂,在半导体工业的使用量非常惊人。
  7。半导体(semiconductor)洁净车间用到的气源,包括吹干晶圆和机台空压所需要的,都需要使用98%氮气(Nitrogen),吹干晶圆的氮气甚至要求99。8%以上的高纯氮。

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